型号：JXA-8230

　　生产国别厂家：日本电子株式会社

　　主要技术指标：

　　1. 电子光学系统

　　  二次电子像分辨率：5nm

　　  背散射电子像分辨率：20nm（拓扑像、成分像）, 成分分辨足以清晰分辨α / β黄铜

　　  电子枪：LaB6发射枪，预对中灯丝

　　  加速电压：0 ～ 30kV

　　  束流范围：10-5 ～ 10-12A

　　  图像放大倍数：×40～×300,000，连续可调；

　　2. 波谱系统

　　  分析元素：5B - 92U

　　  分析精度：好于1%(主元素, 含量＞5%)和5%(次要元素, 含量～1%)

　　  分析速度：自动全元素定性分析时间≤60秒，可以自动识别0.1 wt%以上的元素

　　原理：  
    用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品微区（微米级）元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或特征能量）即可知道微区中所含元素的种类（定性分析）， 分析X射线的强度，则可知道微区中对应元素含量的多少（定量分析）。

　　应用： 
    1、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分鉴定。

　　2、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域。

　　3、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析。

　　4、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测。

　　5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。

　　X射线显微分析系统（能谱仪）（EDS）：作为电子探针的附件配置在JXA-8230型电子探针上使用

　　型号： Inca X-Act型电制冷能谱仪　 

　　生产国别厂家：　英国牛津公司　

　　主要技术指标：分辨率：优于129eV；MK峰背比：20,000:1; 

　　元素探测范围：探测到低至硼（包括硼）的所有元素

　　主要用途：元素的定性、定量分析、线、面分布等，Inca X-Act型电制冷能谱仪无需添加液氮，方便快捷，具有图像及成分图的能谱分析系统，具有分辨率高和定性、定量准确等特点。

　　电子探针样品要求：

　　1. 成分定量分析要求样品表面抛光

　　2. 最大尺寸：方形样品小于10mm×10mm×10mm

　　圆形样品 小于 f10mm×10mm   

　　电子探针试样制备方法

　　1.粉体试样制备：

　　   粉体用环氧树脂等镶嵌材料混合后，进行粗磨、细磨及抛光方法制备。

　　2. 块状试样：

　　  块状试样，特别是测定薄膜厚度、离子迁移深度、背散射电子观察相分布等试样，可以用环氧树脂等镶嵌后，进行研磨和抛光。较大的块状试样也可以直接研磨和抛光，但容易产生倒角，会影响薄膜厚度及离子迁移深度的测定，对尺寸小的试样只能镶嵌后加工。

　　  对多孔或较疏松的试样、腐蚀产物等，需采用真空镶嵌方法。

　　  真空镶嵌方法：

　　  将试样用环氧树脂胶浸泡，在50°－60°C时放入低真空容器内抽气，然后在60°C恒温烘箱内烘烤4h，即可获得坚固的块状试样。这可以避免研磨和抛光过程中脱落，同时可以避免抛光物进入试样孔内引起污染。

　 3.试样研磨、抛光

　　  试样研磨、抛光时，要根据试样材料选用不同粒径、材料的抛光粉，例如Al2O3、SiC、Cr2O3、金刚石研磨膏等。抛光粉的粒径从0.x微米——几十微米，抛光后必须把抛光粉等污染物用超声波清洗机清洗。需要腐蚀的试样应浅腐蚀，腐蚀后必须把腐蚀剂和腐蚀产物冲洗干净，以免产生假象。对易氧化或在空气中不稳定的试样，制备后应立即分析。试样应防止油污和锈蚀对试样的污染。

　 4.对特殊试样，例如生物试样、软试样、含水等矿物试样，要用特殊的制样方法。矿物岩石试样的制备方法已有国家标准（GB/T 17366－1998）。标准规定了光片、光薄片、颗粒等试样的制备方法。该标准基本适用于无机材料的试样制备。